国家/地区 日本(4)
IPC部 C(4) H(3)
IPC大类 C01(4) H01(3)
IPC小类 C01B(4) H01L(3)
IPC C01B031/02(4) H01L021/02(3) H01L021/336(3)
H01L029/16(3) H01L029/66(3) H01L029/786(3)
H01L051/05(3) H01L051/30(3) H01L051/40(3)
C01B031/04(2) C01B032/182(2) H01L021/04(2)
H01L021/28(2) H01L029/778(2)
发明人 SATO S(2)
公开年 2015(4)
申请年 2014(2)  2015(2) 
专利权人 FUJITSU LTD(4)