| 国家/地区 |
日本(4)
|
| IPC部 | C(4) H(3) |
| IPC大类 | C01(4) H01(3) |
| IPC小类 | C01B(4) H01L(3) |
| IPC |
C01B031/02(4)
H01L021/02(3)
H01L021/336(3)
H01L029/16(3) H01L029/66(3) H01L029/786(3) H01L051/05(3) H01L051/30(3) H01L051/40(3) C01B031/04(2) C01B032/182(2) H01L021/04(2) H01L021/28(2) H01L029/778(2) |
| 发明人 | SATO S(2) |
| 公开年 |
2015(4)
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| 申请年 | 2014(2) 2015(2) |
| 专利权人 |
FUJITSU LTD(4)
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SATO S, JIPPO H, OHFUCHI M, OFUCHI M
KONDO D, NAKANO H, KONDO T, NAKANO M
