国家/地区 美国(8)
IPC部 C(8)
IPC大类 C01(8) C23(8) B01(4)
H01(4) B82(2) C09(2)
C30(2)
IPC小类 C01B(8)
IPC C23C016/02(8)
发明人 LEE S J(2)
公开年 2016(8)
申请年 2016(5)  2015(3) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(2)