国家/地区 |
美国(4)![]() |
IPC部 |
C(4)![]() |
IPC大类 |
C30(4)
H01(4)
B32(2)
B82(2) |
IPC小类 |
C30B(4)![]() |
IPC |
H01L021/02(4)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2013(2) |
申请年 |
2013(4)![]() |
专利权人 |
BAYRAM C, DIMITRAKOPOULOS C D, FOGEL K E, KIM J, OTT J A, SADANA D K
KIM S, HAN S, HAN S A, KIM S W
SEACRIST M R, BERRY V, NGUYEN P T