国家/地区 美国(6)
IPC部 B(6)
IPC大类 C30(6) H01(6) B82(5)
C01(5) B32(4) C23(4)
B05(2)
IPC小类 C30B(6)
IPC B82Y040/00(5) C01B031/02(5) B82Y030/00(4)
C01B031/04(4) C30B029/02(4) H01B001/04(4)
B82B003/00(2) C01B032/188(2) C23C016/26(2)
C30B023/02(2) H01L021/02(2) H01L021/20(2)
发明人 VEERASAMY V(3) VEERASAMY V S(3)
公开年 2011(6)
申请年 2009(4) 
专利权人 GUARDIAN GLA.(3) GUARDIAN IND(3) GUARDIAN IND.(3)