国家/地区 韩国(9)
IPC部 B(6) H(6) C(5)
IPC大类 H01(5) C01(4) B01(3)
C23(3) H05(3) B05(2)
B32(2)
IPC小类 C01B(4) C23C(3) H01L(3)
B01J(2) B05D(2) B32B(2)
H05B(2) H05K(2)
IPC C01B031/02(4) C01B031/04(4) B01J019/18(2)
C23C016/26(2)
发明人 MOON J(6) JUNG M(5) CHOI M(3)
KIM T(3) KIM T H(3)
公开年 2014(9)
申请年 2014(5)  2013(4) 
专利权人 LG ELECTRONICS INC(9)