国家/地区 韩国(7) 美国(5) 世界知识产权组织(4) 法国(2) 日本(2) 台湾(2)
IPC部 B(14)
IPC大类 B01(14)
IPC小类 C23C(14)
IPC C01B031/02(12) C23C016/26(9) B82Y040/00(8)
B82Y030/00(7) B01J019/08(6) C01B031/04(5)
B01J019/12(3) B01J023/72(2) B01J023/76(2)
B01J037/02(2) H01B001/04(2) H01L021/268(2)
发明人 CHOI I S(4) LEE K J(4) BACSA R(2)
CHOI I(2) CHOI S Y(2) HONG B H(2)
LEE K(2) SERP P(2)
公开年 2012(7) 2013(5) 2011(2)
申请年 2011(14)
专利权人 KOREA ADV IN.(4) CENT NAT REC.(2) INST NAT POL.(2) KOREA ADVANC.(2)