国家/地区 中国(9) 世界知识产权组织(4)
IPC部 C(6) H(2)
IPC大类 C01(5) C23(4) C30(2)
H01(2)
IPC小类 C01B(5) C23C(4) C30B(2)
H01L(2)
IPC C01B031/04(4) C23C016/26(4)
发明人 DING G(7) XIE X(7) JIANG M(4)
DI Z(3) GONG Q(2) SUN L(2)
WANG S(2) ZHU Y(2)
公开年 2012(9)
申请年 2012(9)
专利权人 CHINESE ACAD SCI SHANGHAI MICROSYSTEM(9)