国家/地区 欧洲专利局(EPO)(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 C30(5) C01(4) C23(4)
B82(3) H01(2)
IPC小类 C30B(5)
IPC C23C016/26(4) B82Y030/00(3) B82Y040/00(3)
C01B031/04(3) C23C016/56(2) C30B025/16(2)
C30B025/18(2) C30B029/02(2) H01L021/02(2)
发明人
公开年 2013(5)
申请年 2013(5)
专利权人