国家/地区 |
欧洲专利局(EPO)(5)![]() |
IPC部 |
C(5)![]() |
IPC大类 |
C30(5)
C01(4)
C23(4)
B82(3) H01(2) |
IPC小类 |
C30B(5)![]() |
IPC |
C23C016/26(4)
B82Y030/00(3)
B82Y040/00(3)
C01B031/04(3) C23C016/56(2) C30B025/16(2) C30B025/18(2) C30B029/02(2) H01L021/02(2) |
发明人 | |
公开年 |
2013(5)![]() |
申请年 |
2013(5)![]() |
专利权人 |
LOH K P, ZHANG K, CASTRO A H, LOH K
KINLOCH I, LEWIS A, KING M, LEVIS A
GROBERT N, MURDOCK A T, KOOS A A
SEACRIST M R, BERRY V, NGUYEN P T