国家/地区 中国(5) 日本(2)
IPC部 C(4) H(3)
IPC大类 C01(3) H01(3) C23(2)
C30(2)
IPC小类 C01B(3) H01L(3) C23C(2)
C30B(2)
IPC C01B032/186(2) C23C014/06(2) C23C016/26(2)
发明人 JIANG M(6)
公开年 2015(4) 2016(2)
申请年 2015(6)
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(6)