国家/地区 中国(7) 日本(2)
IPC部 C(6) H(3)
IPC大类 C01(5) H01(3) C23(2)
C30(2)
IPC小类 C01B(5) H01L(3) C23C(2)
C30B(2)
IPC C01B031/04(2) C01B032/186(2) C23C014/06(2)
C23C016/26(2)
发明人 XIE X(8)
公开年 2015(4) 2016(2) 2017(2)
申请年 2015(8)
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(8)