国家/地区 美国(7) 韩国(3) 中国(2)
IPC部 C(7)
IPC大类 C23(7)
IPC小类 C23C(7) C01B(5) C25D(3)
C30B(3) H01L(3) H01G(2)
H01J(2) H05K(2)
IPC C23C014/34(7)
发明人
公开年 2016(4) 2017(2)
申请年 2016(7)
专利权人