国家/地区 中国(7) 美国(4) 日本(2)
IPC部 B(12)
IPC大类 C01(12)
IPC小类 C01B(12)
IPC C23C016/26(6) C01B032/184(5) B82Y040/00(4)
C01B032/186(4) C01B032/194(4) B82Y030/00(3)
C23C014/06(2) C23C014/18(2) C23C014/35(2)
C23C018/16(2)
发明人 LI Y(3)
公开年 2018(8) 2019(2) 2020(2)
申请年 2018(12)
专利权人