国家/地区 |
韩国(6)![]() |
IPC部 |
C(6)![]() |
IPC大类 |
C01(6)![]() |
IPC小类 |
C01B(6)![]() |
IPC |
C23C016/26(4)
H01L021/02(3)
H01L029/16(3)
C01B032/182(2) C01B032/184(2) C01B032/186(2) H01L029/786(2) |
发明人 |
CHO K(2)
PARK J(2)
PARKJAEHYUN(2)
|
公开年 | 2018(2) 2019(2) 2020(2) |
申请年 |
2018(6)![]() |
专利权人 | KOREA INST S.(2) |
PARK J, SIM Y, KIM J, SIM Y M, PARKJAEHYUN
JUNG A, SHIN K, BYUN K, SHIN H, LIM H, NAM S, SONG H, CHO Y, JUNG A R, SHIN K W, BYUN K E, SHIN H J, LIM H S, NAM S G, SONG H J, CHO Y C
SONG Y, UDDIN M S, PARK J, PARKJAEHYUN
PARK S Y, SU Y C, YANG J U, CHO Y J, CHO K
CHO K, YOO M S, LEE H C, CHO K W
HAM M H, SON M W, MYUNGWOO S