国家/地区 韩国(6)
IPC部 C(6)
IPC大类 C01(6)
IPC小类 C01B(6)
IPC C23C016/26(4) H01L021/02(3) H01L029/16(3)
C01B032/182(2) C01B032/184(2) C01B032/186(2)
H01L029/786(2)
发明人 CHO K(2) PARK J(2) PARKJAEHYUN(2)
公开年 2018(2) 2019(2) 2020(2)
申请年 2018(6)
专利权人 KOREA INST S.(2)