| 国家/地区 | 韩国(6) 美国(3) |
| IPC部 |
C(4)
H(3)
B(2)
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| IPC大类 |
H01(3)
B01(2)
C01(2)
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| IPC小类 | C01B(2) H01L(2) |
| IPC | H01L021/768(2) |
| 发明人 |
AHN S(6)
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| 公开年 | 2022(5) |
| 申请年 |
2021(6)
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| 专利权人 | KOREA INST S.(2) SAMSUNG ELEC.(2) |
KIMTAEWAN, PARK J H, CHO J, HEE J Y, YOON J H, AHN S, GWAK J, CHO A, YOO J S, EO Y J, KIM K H, SHIN D H, INYOUNG C, MIN S S, LEE S M, LEE A, CHAN H
AHN S, HWANG J Y, KIM Y J, KANG M S
HWANG J Y, AHN S, YANG C M, NAM J, GI L W, YU S
LEE W, JUNG D, LEE S J, AHN S, SHIN J, YOUNG J D
CHA M, KIM S, PARK C, AHN S, SEHYUK A, PARK C H, KIM S Y
LEE Y, SHIN H, SHIN J, BYUN K, LEE W, AHN S, SHIN K, SHIN K W, BYUN K E, SHIN H J, LEE Y S, SHEN X, LI Y
