| 国家/地区 |
印度(5)
|
| IPC部 |
C(5)
H(4)
B(2)
|
| IPC大类 |
C23(5)
|
| IPC小类 |
C23C(5)
H01L(3)
C30B(2)
H05K(2) |
| IPC | H01L021/02(2) |
| 发明人 | |
| 公开年 | 2022(2) 2023(2) |
| 申请年 |
2021(5)
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| 专利权人 |
SHRIVASTAVA M, KHANEJA M, MEERSHA A
MAHAJAN C, GUNARI N, GARWARE V R
RAO R M S, JUVAID M M, SARKAR S, VENKATESAN T
