国家/地区 中国(24)
IPC部 C(24)
IPC大类 C23(24) H01(22) C01(5)
C22(4) C25(4) B22(3)
B82(2) H05(2)
IPC小类 C23C(24) H01L(12) C01B(5)
H01J(5) H01M(4) B22F(3)
C25D(3) B82Y(2) C22C(2)
C22F(2) H01B(2) H01H(2)
H05K(2)
IPC C23C016/26(24)
发明人 MA Y(4) BYUN K(2) BYUN K E(2)
CAO H(2) LI Y(2) NARKEVICIUTE I(2)
SHARMA K(2) SHEN H(2) SHEN X(2)
SHIN H(2) SHIN H J(2) VARADARAJAN B N(2)
ZHANG W(2)
公开年 2021(11) 2022(11) 2023(2)
申请年 2021(24)
专利权人 ZHEJIANG CHI.(3) LAM RES CORP(2) SAMSUNG ELEC.(2) SHANGHAI XIN.(2)
UNIV SINGAPO.(2)