国家/地区 美国(5) 台湾(3) 世界知识产权组织(3)
IPC部 C(5) H(5)
IPC大类 C23(5) H01(5) C01(3)
IPC小类 C23C(5) H01L(5) C01B(3)
H01J(3)
IPC C23C016/26(5) H01L021/285(4) H01L021/768(4)
C23C016/455(3) H01J037/32(3) H01L021/02(3)
H01L023/532(3) C01B032/186(2) C23C016/50(2)
C23C016/54(2)
发明人 MALLICK A B(3) ROY S S(2) SINGHA R S(2)
公开年 2021(2) 2022(2)
申请年 2021(5)
专利权人 APPLIED MATERIALS INC(5)