国家/地区 中国(8) 美国(5)
IPC部 C(5) H(5) G(3)
IPC大类 H01(5) C23(4) C25(2)
G06(2)
IPC小类 H01L(5) C23C(4) C25D(2)
G06F(2)
IPC C23C014/24(4) H01L027/32(3) G06F003/041(2)
H01L027/12(2) H01L029/43(2) H01L051/56(2)
发明人 LIU J(8)
公开年 2015(6)
申请年 2015(4)  2014(2) 
专利权人 BOE TECHNOLOGY GROUP CO LTD(8)