| 国家/地区 | 中国(8) 美国(5) |
| IPC部 |
C(5)
H(5)
G(3)
|
| IPC大类 |
H01(5)
C23(4)
C25(2)
G06(2) |
| IPC小类 |
H01L(5)
C23C(4)
C25D(2)
G06F(2) |
| IPC |
C23C014/24(4)
H01L027/32(3)
G06F003/041(2)
H01L027/12(2) H01L029/43(2) H01L051/56(2) |
| 发明人 |
LIU J(8)
|
| 公开年 | 2015(6) |
| 申请年 | 2015(4) 2014(2) |
| 专利权人 |
BOE TECHNOLOGY GROUP CO LTD(8)
|
ZHU X, DU Z, LIU J, LI W, ZHANG H
GUAN X, BAI S, BI N, LIU J, WU S
FENG X, LIU J, QIU Y, WEI X
