| 国家/地区 | 韩国(6) 美国(2) |
| IPC部 |
H(5)
C(3)
G(2)
|
| IPC大类 |
H01(5)
C01(3)
G03(2)
|
| IPC小类 |
H01L(4)
C01B(3)
G03F(2)
|
| IPC |
C01B032/182(3)
H01L029/16(3)
C01B032/184(2)
H01L021/324(2) H01L027/32(2) H01L051/00(2) H01L051/56(2) |
| 发明人 | MOON J(2) PARK J(2) |
| 公开年 | 2018(6) |
| 申请年 |
2017(6)
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| 专利权人 |
ELECTRONICS TELECOM RES INST(6)
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SHIN J W, CHO N S, KWON B H, MOON J, CHO H, HAN J H, LEE J I
TAE L J, LEE H, HWA K B, MOON J, GON Y B, IK L J, SUNG C N
KIM T, YOU I, KIM B N, KIM I G, JUNG S, PARK S, YOUNG K T, KYU Y I, NA K B, GYOO K I, HOON J S, JUN P S
