国家/地区 韩国(6) 美国(2)
IPC部 H(5) C(3) G(2)
IPC大类 H01(5) C01(3) G03(2)
IPC小类 H01L(4) C01B(3) G03F(2)
IPC C01B032/182(3) H01L029/16(3) C01B032/184(2)
H01L021/324(2) H01L027/32(2) H01L051/00(2)
H01L051/56(2)
发明人 MOON J(2) PARK J(2)
公开年 2018(6)
申请年 2017(6)
专利权人 ELECTRONICS TELECOM RES INST(6)