国家/地区 韩国(18) 美国(15)
IPC部 H(12) G(10) C(7)
B(4) A(2)
IPC大类 H01(10) G01(6) C01(5)
G02(4) B82(2) C23(2)
H05(2)
IPC小类 H01L(7) C01B(5) G01N(4)
G02B(4) G02F(3) C23C(2)
H01B(2)
IPC C01B031/04(4) C01B031/02(3) G01N027/12(3)
G02B006/12(3) G02F001/01(3) C23C028/00(2)
G01N027/414(2) G02B006/02(2) H01B005/14(2)
H01B013/00(2) H01L029/16(2) H01L029/66(2)
H01L031/0224(2) H01L031/028(2)
发明人 CHOI C G(19)
公开年 2014(8) 2016(4) 2015(3) 2019(2)
申请年 2014(6)  2013(5)  2016(3) 
专利权人 ELECTRONICS TELECOM RES INST(19)