国家/地区 韩国(6) 美国(5)
IPC部 H(7) C(4) G(2)
IPC大类 H01(6) C01(4) G01(2)
IPC小类 C01B(4) H01L(4) G01N(2)
IPC C01B031/04(3) H01L027/32(2) H01L029/16(2)
发明人 CHOI C G(4) CHOI H K(3) CHOI J S(3)
CHUNG K H(3) KIM J T(3) YU Y J(3)
CHU H Y(2) LEE J I(2) LIM J T(2)
MOON J(2) YU B G(2)
公开年 2016(8)
申请年 2016(4)  2014(2)  2015(2) 
专利权人 ELECTRONICS TELECOM RES INST(8)