| 国家/地区 | 韩国(5) 美国(3) |
| IPC部 |
B(4)
C(4)
H(3)
|
| IPC大类 |
B82(3)
C01(3)
H01(3)
C23(2) |
| IPC小类 |
B82Y(3)
C01B(3)
H01L(3)
C23C(2) |
| IPC |
B82Y040/00(2)
B82Y099/00(2)
C01B031/02(2)
|
| 发明人 |
PARK K(3)
CHOI S Y(2)
KIM J Y(2)
|
| 公开年 | 2012(5) |
| 申请年 |
2011(5)
|
| 专利权人 |
ELECTRONICS TELECOM RES INST(5)
|
LEE D S, PARK S H, CHOI S Y, JUNG M Y, KIM S H
KIM D, BAEK K, PARK K, PARK J M, KIM Z S, KIM J Y, JEONG Y S, DO L, KIM D P, BAEK K H, DO LEE M
