| 国家/地区 | 日本(9) |
| IPC部 |
H(7)
C(4)
G(3)
|
| IPC大类 |
H01(7)
C01(4)
C07(4)
G01(3) C08(2) |
| IPC小类 |
H01L(7)
C01B(4)
C07C(3)
G01J(3) C08G(2) |
| IPC |
C01B032/182(3)
C07C025/22(3)
G01J001/02(3)
H01L021/336(3) H01L029/786(3) H01L051/05(3) H01L051/30(3) H01L031/10(2) |
| 发明人 |
OTOMO M(3)
HAYASHI H(2)
SATO S(2)
YAMADA Y(2) YAMAGUCHI J(2) YAMASHITA H(2) |
| 公开年 | 2022(5) 2021(3) |
| 申请年 |
2020(9)
|
| 专利权人 |
FUJITSU LTD(9)
|
YAMAGUCHI J, HAYASHI H, YAMADA Y
OTOMO M, SATO S, HAYASHI H, YAMADA Y
OHTOMO M, SATO S, OTOMO M
