国家/地区 日本(9)
IPC部 H(7) C(4) G(3)
IPC大类 H01(7) C01(4) C07(4)
G01(3) C08(2)
IPC小类 H01L(7) C01B(4) C07C(3)
G01J(3) C08G(2)
IPC C01B032/182(3) C07C025/22(3) G01J001/02(3)
H01L021/336(3) H01L029/786(3) H01L051/05(3)
H01L051/30(3) H01L031/10(2)
发明人 OTOMO M(3) HAYASHI H(2) SATO S(2)
YAMADA Y(2) YAMAGUCHI J(2) YAMASHITA H(2)
公开年 2022(5) 2021(3)
申请年 2020(9)
专利权人 FUJITSU LTD(9)