| 国家/地区 | 日本(9) 美国(2) |
| IPC部 |
H(5)
G(3)
C(2)
|
| IPC大类 |
H01(5)
G01(3)
C01(2)
|
| IPC小类 |
H01L(5)
G01N(3)
C01B(2)
|
| IPC |
H01L029/786(4)
H01L051/05(4)
H01L051/30(3)
H01L051/40(3) G01N027/00(2) G01N027/12(2) H01L029/06(2) |
| 发明人 |
HARADA N(9)
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| 公开年 | 2017(3) 2009(2) |
| 申请年 | 2008(3) 2016(3) |
| 专利权人 |
FUJITSU LTD(9)
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HARADA N, SATO S, HAYASHI K, YAMAGUCHI J
HARADA N, OFUCHI M
