国家/地区 日本(9) 美国(2)
IPC部 H(5) G(3) C(2)
IPC大类 H01(5) G01(3) C01(2)
IPC小类 H01L(5) G01N(3) C01B(2)
IPC H01L029/786(4) H01L051/05(4) H01L051/30(3)
H01L051/40(3) G01N027/00(2) G01N027/12(2)
H01L029/06(2)
发明人 HARADA N(9)
公开年 2017(3) 2009(2)
申请年 2008(3)  2016(3) 
专利权人 FUJITSU LTD(9)