国家/地区 日本(6)
IPC部 C(5) H(5)
IPC大类 C01(5) H01(5)
IPC小类 C01B(5) H01L(5)
IPC C01B031/02(5) H01L029/786(4) H01L021/336(3)
H01L029/06(2) H01L029/417(2) H01L051/05(2)
H01L051/30(2) H01L051/40(2)
发明人 SATO S(2)
公开年 2012(6)
申请年 2010(3)  2011(2) 
专利权人 FUJITSU LTD(6)