| 国家/地区 | 日本(6) |
| IPC部 | C(5) H(5) |
| IPC大类 | C01(5) H01(5) |
| IPC小类 | C01B(5) H01L(5) |
| IPC |
C01B031/02(5)
H01L029/786(4)
H01L021/336(3)
H01L029/06(2) H01L029/417(2) H01L051/05(2) H01L051/30(2) H01L051/40(2) |
| 发明人 | SATO S(2) |
| 公开年 |
2012(6)
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| 申请年 | 2010(3) 2011(2) |
| 专利权人 |
FUJITSU LTD(6)
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