国家/地区 日本(5)
IPC部 G(3) H(3)
IPC大类 G01(3) H01(3)
IPC小类 G01N(3) H01L(3)
IPC G01N027/12(3) H01L021/28(2) H01L029/417(2)
H01L029/786(2) H01L051/05(2) H01L051/30(2)
H01L051/40(2)
发明人 JIPPO H(2) SATO S(2)
公开年 2016(6)
申请年 2015(4)  2014(2) 
专利权人 FUJITSU LTD(6)