| 国家/地区 | 日本(5) |
| IPC部 | G(3) H(3) |
| IPC大类 | G01(3) H01(3) |
| IPC小类 | G01N(3) H01L(3) |
| IPC |
G01N027/12(3)
H01L021/28(2)
H01L029/417(2)
H01L029/786(2) H01L051/05(2) H01L051/30(2) H01L051/40(2) |
| 发明人 | JIPPO H(2) SATO S(2) |
| 公开年 |
2016(6)
|
| 申请年 | 2015(4) 2014(2) |
| 专利权人 |
FUJITSU LTD(6)
|
