| 国家/地区 | 日本(7) 美国(2) |
| IPC部 |
C(5)
H(4)
B(3)
G(3) |
| IPC大类 |
C01(5)
H01(4)
G01(3)
B82(2) |
| IPC小类 |
C01B(5)
H01L(4)
B82Y(2)
G01N(2) |
| IPC |
C01B032/15(4)
C01B032/18(4)
C01B032/182(4)
H01L029/06(3) G01N027/00(2) H01L029/16(2) H01L029/66(2) H01L029/88(2) H01L051/40(2) |
| 发明人 |
HARADA N(3)
YAMAGUCHI J(3)
JIPPO H(2)
SATO S(2) |
| 公开年 |
2017(7)
|
| 申请年 | 2016(6) |
| 专利权人 |
FUJITSU LTD(7)
|
