国家/地区 日本(7) 美国(2)
IPC部 C(5) H(4) B(3)
G(3)
IPC大类 C01(5) H01(4) G01(3)
B82(2)
IPC小类 C01B(5) H01L(4) B82Y(2)
G01N(2)
IPC C01B032/15(4) C01B032/18(4) C01B032/182(4)
H01L029/06(3) G01N027/00(2) H01L029/16(2)
H01L029/66(2) H01L029/88(2) H01L051/40(2)
发明人 HARADA N(3) YAMAGUCHI J(3) JIPPO H(2)
SATO S(2)
公开年 2017(7)
申请年 2016(6) 
专利权人 FUJITSU LTD(7)