国家/地区 韩国(8) 美国(5)
IPC部 H(6) C(3) G(3)
IPC大类 H01(6) C01(2) C08(2)
G01(2)
IPC小类 H01L(6) C01B(2) G01N(2)
IPC H01L029/16(4) C01B031/04(2) H01L029/786(2)
发明人 LEE B H(2)
公开年 2017(8)
申请年 2017(4)  2015(3) 
专利权人 GWANGJU INST SCI TECHNOLOGY(8)