国家/地区 韩国(7) 美国(5) 中国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 B(6) C(5) H(4)
IPC大类 C01(5) B82(4) H01(4)
C23(3) B01(2)
IPC小类 C01B(5) H01L(4) B82Y(3)
C23C(3) B01J(2)
IPC C01B031/04(4) H01L021/02(4) H01L029/16(4)
B82Y040/00(3) C01B031/02(3) B82Y030/00(2)
H01L029/786(2) H01L051/52(2)
发明人 CHO S M(7)
公开年 2012(3) 2017(2)
申请年 2011(3)  2016(2) 
专利权人 HANWHA TECHWIN CO LTD(7)