国家/地区 韩国(7) 美国(5) 中国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(5) H(5) B(4)
G(2)
IPC大类 H01(5) B82(3) C01(3)
C23(3)
IPC小类 H01L(5) B82Y(3) C01B(3)
C23C(3)
IPC C01B031/02(3) C23C016/26(3) H01L029/78(3)
B82Y099/00(2) C23C016/44(2) H01L021/00(2)
H01L021/336(2) H01L029/786(2)
发明人 CHO B J(3) JEON S(2) LEE J(2)
OH S(2) SEOP L J(2) U JEON S(2)
公开年 2012(8)
申请年 2012(4)  2011(3) 
专利权人 KOREA ADVANCED INST SCI TECHNOLOGY(8)