| 国家/地区 |
韩国(7)
|
| IPC部 |
H(5)
B(4)
C(4)
G(2) |
| IPC大类 |
H01(5)
B82(3)
C01(2)
C23(2) |
| IPC小类 |
H01L(5)
B82Y(3)
C01B(2)
C23C(2) |
| IPC |
H01L029/78(3)
B82Y099/00(2)
C01B031/02(2)
C23C016/26(2) H01L021/00(2) H01L021/336(2) H01L029/786(2) |
| 发明人 |
CHO B J(3)
SEOP L J(2)
U JEON S(2)
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| 公开年 |
2012(7)
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| 申请年 | 2011(3) 2012(3) |
| 专利权人 |
KOREA ADVANCED INST SCI TECHNOLOGY(7)
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SONG H, CHO B, SEO S, SHIN W, SONG H J, CHO B J, SEO S A, SHIN W C, SONG C, SIN W
CHO B J, PARK J K
JEON S, LEE J, OH S, RAN O S, SEOP L J, U JEON S, JIN S L, SE R O, SEOK W J
HO K G, IK P U, SEOP L J, SIK J Y, U JEON S, JEON S W, JUNG Y S, KIM K H, LEE J S, PARK W I
KIM S O, HWANG J O, LEE D H
