国家/地区 韩国(7)
IPC部 H(5) B(4) C(4)
G(2)
IPC大类 H01(5) B82(3) C01(2)
C23(2)
IPC小类 H01L(5) B82Y(3) C01B(2)
C23C(2)
IPC H01L029/78(3) B82Y099/00(2) C01B031/02(2)
C23C016/26(2) H01L021/00(2) H01L021/336(2)
H01L029/786(2)
发明人 CHO B J(3) SEOP L J(2) U JEON S(2)
公开年 2012(7)
申请年 2011(3)  2012(3) 
专利权人 KOREA ADVANCED INST SCI TECHNOLOGY(7)