国家/地区 韩国(6)
IPC部 H(6) C(3) B(2)
IPC大类 H01(6) B82(2) C01(2)
C23(2)
IPC小类 H01L(5) B82Y(2) C01B(2)
C23C(2)
IPC H01L029/78(4) H01L029/16(3) H01L029/786(3)
B82Y099/00(2) C01B031/04(2) H01L021/336(2)
发明人 CHO B J(6)
公开年 2012(3) 2014(2)
申请年 2012(2)  2013(2) 
专利权人 KOREA ADVANCED INST SCI TECHNOLOGY(6)