国家/地区 韩国(10)
IPC部 C(8) B(5) H(2)
IPC大类 C01(6) B01(4) C23(2)
H01(2)
IPC小类 C01B(6) B01J(4) C23C(2)
IPC C01B032/182(6) B01J019/18(2) B01J019/24(2)
C23C016/26(2)
发明人 YANG W S(8)
公开年 2018(11)
申请年 2016(9)  2017(2) 
专利权人 KOREA ELECTRONICS TECHNOLOGY INST(11)