国家/地区 韩国(5)
IPC部 C(4) H(4) B(2)
IPC大类 C01(4) H01(4) B82(2)
IPC小类 C01B(4) H01L(3)
IPC C01B031/04(4) C01B031/02(2) H01L029/786(2)
发明人 KIM C(2) KIM J H(2) KIM S H(2)
LEE S(2) LEE T(2) SEO M A(2)
SONG Y W(2) WOO D H(2) YI J C(2)
公开年 2015(4)
申请年 2014(5)
专利权人 KOREA INST SCI TECHNOLOGY(5)