国家/地区 韩国(6) 美国(4)
IPC部 C(3) G(3) B(2)
H(2)
IPC大类 C01(2) G02(2) H01(2)
IPC小类 C01B(2) G02B(2) H01L(2)
IPC C01B031/04(2)
发明人 WOO D H(6)
公开年 2014(2) 2015(2)
申请年 2014(2) 
专利权人 KOREA INST SCI TECHNOLOGY(6)