国家/地区 韩国(8) 美国(2)
IPC部 C(8) H(6)
IPC大类 C01(6) H01(5) C23(3)
C25(2)
IPC小类 C01B(6) C23C(3) H01L(3)
C25D(2) H01B(2)
IPC C01B031/04(6) C23C016/26(2) C25D001/04(2)
H01L051/50(2) H01L051/56(2)
发明人 LEE S H(4) SON D I(4) KIM T W(3)
LEE D S(3) BAE S(2) LEE K S(2)
RHO H K(2) SHIM J H(2)
公开年 2016(10)
申请年 2015(8) 
专利权人 KOREA INST SCI TECHNOLOGY(10)