国家/地区 韩国(5)
IPC部 C(4) G(3) H(3)
IPC大类 C23(4) C01(3) H01(3)
G02(2)
IPC小类 C23C(4) H01L(3) C01B(2)
IPC C01B032/184(2) C23C016/02(2) C23C016/455(2)
H01L021/02(2) H01L029/16(2)
发明人 PARK J(5)
公开年
申请年 2018(2) 
专利权人 KOREA INST SCI TECHNOLOGY(5)