| 国家/地区 |
韩国(5)
|
| IPC部 |
C(4)
G(3)
H(3)
|
| IPC大类 |
C23(4)
C01(3)
H01(3)
G02(2) |
| IPC小类 |
C23C(4)
H01L(3)
C01B(2)
|
| IPC |
C01B032/184(2)
C23C016/02(2)
C23C016/455(2)
H01L021/02(2) H01L029/16(2) |
| 发明人 |
PARK J(5)
|
| 公开年 | |
| 申请年 | 2018(2) |
| 专利权人 |
KOREA INST SCI TECHNOLOGY(5)
|
KWAK J, PARK E P, LEE S Y, KIM I H, PARK J K, KIM J, KIL P J, JUNG Y J, JEONG Y, PARK J, KIM I, LEE S, PARK E, KWAK J Y
LEE D, PARK J, PARKJAEHYUN, LEE D J
PARK J, SIM Y, KIM J, SIM Y M, PARKJAEHYUN
SONG Y, UDDIN M S, PARK J, PARKJAEHYUN
LEE W S, KO Y, BAIK Y J, PARK J, LEE K S, KIM I, JEONG D S, KO Y J, PARK J K
