国家/地区 韩国(5)
IPC部 C(4) H(3)
IPC大类 C01(4) H01(3)
IPC小类 C01B(4) H01L(2)
IPC C01B031/04(4)
发明人 KIM C(2) KIM J H(2) KIM S H(2)
LEE S(2) LEE T(2) SEO M A(2)
WOO D H(2) YI J C(2)
公开年 2015(5)
申请年 2014(4) 
专利权人 KOREA INST SCI TECHNOLOGY(5)