国家/地区 韩国(9) 美国(3) 中国(2) 欧洲专利局(EPO)(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(9) B(7) H(2)
IPC大类 C01(9) B01(5) C23(3)
B32(2) H01(2)
IPC小类 C01B(9) B01J(5) C23C(3)
B32B(2) H01L(2)
IPC C01B031/02(8) B01J019/08(4) C01B031/04(3)
C23C016/26(3) B01J019/18(2) H01L051/00(2)
发明人 PARK W(9)
公开年 2013(6) 2014(2)
申请年 2012(6)  2013(2) 
专利权人 LG ELECTRONICS INC(9)

MOON J, PARK W, PARK S, JO I, HONG B, SAN MOON J, SU C I, BAE P W, BEOM P S, HUI H B, ZHENSHAN W, WONBAE P, SUBEOM P, INSU J, BYUNGHEE H