国家/地区 日本(6) 美国(4) 世界知识产权组织(3) 台湾(2)
IPC部 C(4) H(4) B(2)
IPC大类 C01(4) H01(4)
IPC小类 C01B(4) H01L(4)
IPC C01B031/02(4) C01B032/182(3) H01L021/28(3)
H01L029/06(3) H01L029/16(3) H01L029/66(3)
H01L029/786(3) C01B031/04(2) C01B032/186(2)
H01L021/02(2) H01L021/336(2) H01L051/05(2)
H01L051/30(2) H01L051/40(2)
发明人 SATO S(3) YAMAGUCHI J(2)
公开年 2015(3) 2014(2)
申请年 2014(6)
专利权人 NAT INST ADVANCED IND SCI TECHNOLOGY(6)