国家/地区 日本(5) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(4) H(3)
IPC大类 C01(4) H01(3) C23(2)
H05(2)
IPC小类 C01B(4) C23C(2) H01L(2)
H05B(2)
IPC C01B031/02(3) C01B032/15(2) C01B032/18(2)
C01B032/182(2) C23C016/26(2) H01L051/50(2)
H05B033/02(2) H05B033/28(2)
发明人 HASEGAWA M(2) HASEGAWA MASATAKA(2) YAMADA T(2)
公开年 2016(4)
申请年 2015(5)
专利权人 NAT INST ADVANCED IND SCI TECHNOLOGY(5)