国家/地区 日本(7) 台湾(4) 世界知识产权组织(4) 美国(2)
IPC部 C(7) B(4) H(4)
IPC大类 C01(7) B82(4) H01(4)
IPC小类 C01B(7)
IPC C01B031/02(7) B82Y040/00(4) B82Y030/00(3)
C01B031/04(3) C01B032/182(2) H01L021/28(2)
H01L021/285(2) H01L021/3205(2) H01L021/336(2)
H01L021/768(2) H01L023/532(2) H01L029/06(2)
H01L029/417(2) H01L029/78(2)
发明人 HASEGAWA M(3) ISHIHARA M(2) KAWABATA A(2)
SATO S(2) YAMADA T(2)
公开年 2014(7)
申请年 2013(4)  2012(2) 
专利权人 NAT INST ADVANCED IND SCI TECHNOLOGY(7)