国家/地区 英国(5)
IPC部 C(5) H(5) B(3)
IPC大类 C01(5) H01(5) C23(4)
B82(2) C30(2)
IPC小类 C01B(5) H01L(5) C23C(4)
B82Y(2) C30B(2)
IPC C01B032/186(4) C23C016/26(4) C01B032/182(3)
C01B032/184(2) C23C016/455(2) C23C016/56(2)
C30B025/18(2) C30B029/02(2) H01L021/02(2)
H01L029/16(2) H01L043/14(2)
发明人 GUINEY I(5) DIXON S(3) THOMAS S(3)
BADCOCK T J(2) GLASS H(2) GRIFFIN R M(2)
KAINTH J(2) TYLER M(2) WALLIS R(2)
公开年 2022(3) 2021(2)
申请年 2020(2)  2021(2) 
专利权人 PARAGRAF LTD(5)