| 国家/地区 | 韩国(7) |
| IPC部 |
H(6)
C(5)
B(2)
|
| IPC大类 | H01(5) C23(3) |
| IPC小类 | H01L(5) C23C(3) |
| IPC |
C23C016/26(3)
H01L021/02(2)
H01L029/16(2)
H01L051/00(2) |
| 发明人 |
CHO K W(4)
LEE E(2)
LEE H C(2)
YOO M S(2) |
| 公开年 | 2021(4) 2020(3) |
| 申请年 |
2019(7)
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| 专利权人 |
POSTECH ACADIND FOUND(7)
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HWANG C C, CHUNG D S, OH D
CHO K W, LEE H C, YOO M S, CHUNG H J
KIM D S, LIM H E, HYEON Y D, PARKSEONGCHOL, SHIM J Y, CHOI D W, LEE S
