国家/地区 韩国(7)
IPC部 H(6) C(5) B(2)
IPC大类 H01(5) C23(3)
IPC小类 H01L(5) C23C(3)
IPC C23C016/26(3) H01L021/02(2) H01L029/16(2)
H01L051/00(2)
发明人 CHO K W(4) LEE E(2) LEE H C(2)
YOO M S(2)
公开年 2021(4) 2020(3)
申请年 2019(7)
专利权人 POSTECH ACADIND FOUND(7)