国家/地区 韩国(5) 美国(3) 中国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(3) H(3)
IPC大类 C01(3) C23(2) H01(2)
IPC小类 C01B(3) C23C(2) H01L(2)
IPC C01B032/182(2) C01B032/186(2) C23C016/26(2)
发明人 CHO K(5)
公开年 2018(2)
申请年 2016(2) 
专利权人 POSTECH ACADIND FOUND(5)