国家/地区 美国(18) 世界知识产权组织(5) 加拿大(3) 欧洲专利局(EPO)(3) 韩国(3)
IPC部 H(12) C(11) B(8)
A(2) G(2)
IPC大类 H01(11) C01(8) B82(5)
C23(4) A61(2) B01(2)
B05(2) C09(2) C10(2)
IPC小类 H01L(9) C01B(8) B82Y(5)
C23C(4) H01B(3) B01J(2)
B05D(2) C09D(2) C10M(2)
IPC C01B031/04(5) B82Y030/00(4) B82Y040/00(4)
C23C016/26(4) C01B031/02(3) C01B032/184(3)
H01L029/16(3) B01J019/12(2) C01B032/186(2)
C23C016/00(2) C23C016/02(2) C23C016/50(2)
C23C016/505(2) C23C016/511(2) H01B001/02(2)
发明人 CHEN Z(3) FISHER T S(3) ALAM M A(2)
ALAZEMI A(2) DYSART A D(2) FISHER T(2)
JEONG C(2) KUMAR A(2) LEE C H(2)
LUNDSTROM M(2) POL V G(2) SADEGHI F(2)
公开年 2013(5) 2021(4) 2022(3) 2018(2) 2020(2)
申请年 2012(4)  2021(4)  2018(3)  2020(3)  2019(2) 
专利权人 PURDUE RES FOUND(20)