国家/地区 美国(18)
IPC部 H(11) C(10) B(7)
A(2)
IPC大类 H01(10) C01(7) B82(4)
C23(4) A61(2) B01(2)
B05(2) C09(2) C10(2)
IPC小类 H01L(8) C01B(7) B82Y(4)
C23C(4) H01B(3) B01J(2)
B05D(2) C09D(2) C10M(2)
IPC C01B031/04(4) C23C016/26(4) B82Y030/00(3)
B82Y040/00(3) C01B032/184(3) H01L029/16(3)
B01J019/12(2) C01B031/02(2) C01B032/186(2)
C23C016/00(2) C23C016/02(2) C23C016/50(2)
C23C016/505(2) C23C016/511(2) H01B001/02(2)
发明人 CHEN Z(3) ALAM M A(2) ALAZEMI A(2)
DYSART A D(2) FISHER T(2) FISHER T S(2)
JEONG C(2) LUNDSTROM M(2) POL V G(2)
SADEGHI F(2)
公开年 2013(4) 2021(4) 2018(2) 2020(2) 2022(2)
申请年 2012(3)  2018(3)  2020(3)  2021(3)  2019(2) 
专利权人 PURDUE RES FOUND(18)