国家/地区 美国(7) 韩国(6) 中国(4) 欧洲专利局(EPO)(3)
IPC部 H(7) G(4) C(3)
B(2)
IPC大类 H01(7) C01(3) G01(3)
G02(2)
IPC小类 H01L(6) C01B(3) G01J(2)
G01N(2)
IPC H01L029/16(3) C01B032/182(2) C01B032/186(2)
H01L021/02(2) H01L027/146(2) H01L031/028(2)
H01L031/09(2)
发明人 PARK S(4) LEE D(3) PARK S J(3)
SHIN H(3) SHIN H J(3) KIM S(2)
LEE D W(2) LEE J(2) LEE J H(2)
NAM S(2) NAM S G(2)
公开年 2018(7)
申请年 2017(6) 
专利权人 SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD(7)

LEE D, KIM S, SEOL M, JEONG S, NAM S, PARK S, SHIN H, XUE M, ZHENG C, NA S, LEE D W, KIM S W, SEOL M S, JEONG S J, NAM S G, PARK S J, SHIN H J