国家/地区 中国(5)
IPC部 H(4) B(2) G(2)
IPC大类 H01(4) B82(2) G01(2)
IPC小类 H01L(3) B82Y(2)
IPC B82Y030/00(2) H01L031/09(2)
发明人 ZHANG L(3) GAO A(2) LI T(2)
SONG H(2) TONG J(2) WANG Y(2)
ZHANG D(2)
公开年 2018(5)
申请年 2017(5)
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(5)